50MΩインピーダンス液体から一般水まで安定検出。

しかも検知レンジは4段階に設定できるため、液体に合わせた検出が可能。

危険雰囲気中で、漏液検出器の使用可能な小型専用防爆バリアをシリーズ化。

検出帯への信号供給は交流を採用しているため電触を起こさず安全。

3芯ケーブルを応用したノイズキャンセル回路により、ノイズ耐性に優れた検出を実現。

電源回路部と検出回路部の絶縁により同一箇所への複数設置が可能。

洗浄装置内の結露や周辺への液漏れを検出。

電極部にSUS316、絶縁被覆部にポリエチレンを採用。酸性やアルカリ性などの耐性をアップ。

パイプの継手部など漏液の可能性のある部位に検知帯を巻き付けて液漏れを検出。

ドレインパンへの液漏れを検出し、装置の破損やウエハの洗浄不良を防止。

洗浄槽内の純水のレベルを検出。
高感度による精度の高いレベル制御で洗浄不良を防止。

注. 防爆エリアでひとつの水槽に形K7Lを2個以上ご使用になる場合は、必ず水槽をアース接地してください。