【回帰反射】タイプ
透明体ワークを安定検出
- 偏光フィルタ内蔵タイプと狭視界タイプをラインナップ
- 厚さわずか2mmの極薄設計。回帰反射でウェハマッピング(NF-RG01)
NFシリーズ一部生産終了品あり
透明ワークを安定検出
偏光フィルタ内蔵タイプと狭視界タイプ
ガラスやフィルム等の表面からの反射光の影響を受けにくい偏光フィルタ内蔵のNF-RR01と狭視界設計のNF-RB02(サイドON)をラインナップ。用途にあわせてお選びいただけます。
回帰反射型でウェハマッピング
超薄型のファイバユニットと反射ミラー:NF-RG01
厚さはわずか2mmの極薄設計。配線工数の多い透過型でしかできなかったウェハマッピングを、回帰反射型で可能にしました。もちろん省スペースのサイドビュー型ですので、ファイバケーブルの取り回しも楽に行えます。
※反射ミラーの厚みは2.2mmとなります。
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■メーカー
オプテックス・エフエー
■商品の品番
NF